Dengan peningkatan kadar penggunaan produk logam tungsten molibdenum tantalum niobium, mungkin terdapat sisa di permukaan, seperti habuk, minyak, oksida, dan lain-lain, dan kemudian akan terdapat pelbagai tahap nodulasi pada permukaan sasaran, dan kualiti produk juga akan menurun, mengakibatkan kenaikan kos produksi. Oleh itu, produk perlu dibersihkan dengan secukupnya.
Tujuan membersihkan produk adalah untuk menghilangkan kekotoran, habuk atau kotoran yang mungkin terdapat di permukaan sasaran. Pembersihan dapat dicapai dengan kaedah berikut. Pakai sarung tangan pelindung yang bersih dan tidak berbulu ketika membersihkan produk untuk mengelakkan sentuhan langsung dengan tangan.
(1) Keluarkan zarah besar, dan gunakan pembersih vakum untuk membuang zarah besar di permukaan produk
(2) Pengisaran kertas pasir: kertas pasir dengan bilangan mesh yang sesuai digunakan untuk menggilap permukaan produk. Sekiranya arah pengisaran sasaran sesuai dengan arah beberapa landasan yang terbentuk oleh permukaan sputtering sasaran, pada masa yang sama, lapisan oksida Kuning pada permukaan tengah landasan hendaklah digilap untuk menghilangkan oksida dan kekotoran pada permukaan sputtering.
(3) Pembersihan dan penyingkiran debu: debu dan zarah yang dihasilkan oleh pengisar kertas pasir di permukaan sputtering sasaran dikeluarkan oleh pembersih vakum.
Penyelenggaraan produk logam
Apabila produk tidak digunakan, disarankan agar pengguna menyimpan produk di dalam beg plastik tertutup vakum dengan agen tahan kelembapan. Khususnya, produk laminating perlu disimpan dalam vakum untuk mengelakkan pengoksidaan lapisan lamina mempengaruhi kualiti ikatan. Pakej luarnya biasanya adalah kotak kayu dengan lapisan bukti perlanggaran di sekelilingnya untuk melindungi sasaran dan sasaran belakang dari kerosakan semasa pengangkutan dan penyimpanan.
